半导体国际标准
设备规程
集工具接口：
电源和急停标准
SEMI E20-0697（1102重新批准）
集工具模块接口：电源和紧急关断标准
本标准在技术上由全球物理接口和运营商委员会批准，是由北美物理接口和运营商委员会直接负责。当前版由北美物理接口和运营委员会于2002年7月21日批准。最初发表于2002年10月，2002年11月被公布.原始发表于1991；此前公布于1997年6月。
1目的
1.1本标准的目的是指定集工具模块的紧急关闭功能，允许模块在不切断其余部分电源的情况下，以安全的方式紧急关闭断开和重新连接，以及防止电源被应用到一个不带有紧急停止功能的模块。
2 适用范围
2.1集工具模块的电能的输送和紧急中断的处理准则。
2.2本标准并非旨在解决安全问题，如果有的话，仅是相关联的使用。本标准用户的责任是建立相应安全健康措施，并在使用前，事先确定适用性或监管限制。
3 影响
3.1本标准的要求是只有当其紧急关闭功能是正常时，才允许电源传递到一个单独的模块，这并不排除通过非紧急手段从模块切断电源。
3.2本标准规定在集工具紧急关闭接口处，包括插头、瞬间旁路开关和旁路跳线插头，必须要提供紧急关闭电路功能。插脚引线的紧急关闭插头和旁路跳线插头都应指定。
4引用标准
4.1 SEMI标准
SEMI E21 - 集工具模块接口：物理接口和晶圆传输标准
4.2军用标准
MIL-C-26500E - 一般规格连接器- 通用目的，电器，小型，圆形，环境阻抗。
5术语
5.1定义
5.1.1菊花链–一种连接方式，以便一个部件的移除引发另一个部件的电路中断。
5.1.2紧急关闭（EMO）- 故障安全控制开关或电路，当取消通电时，将停止相关设备的操作，并将切断所有主电源机箱外的潜在危险。
5.1.3 EMO接口- 在一个过程或盒式模块EMO电缆的位置连接到集工具电路。
6要求
6.1配电
6.1.1电源- 每个集工具（如SEMI E21定义）应带有由EMO启用的一个或更多个接触器提供的电源。电源要被传递到一个或更多配电箱，其中电压在分配到模块之前可能已变压（如SEMI E21中定义）。
6.1.2模块配电-通过在配电柜中的专用电路断路器给每个模块配电。每个电路中的额定电流和电压由工具的配置决定。在如何使用此标准可以被实现的讨论中给出了相关信息R1-2）。
6.2 EMO电路
6.2.1说明- 连接到集工具的每个模块都带有至少一个EMO按钮操作的EMO开关（见相关信息R1-3）。这些开关是菊花链式连接到一个电路或电路组，即断开主电源和任何备份
电源。来激励这个电路的24 VAC电源是从内部的主电源箱提供，从而使EMO电路独立于模块电源。每个模块EMO被连接到链上的EMO接口。一个瞬间旁路开关，也位于每个模块EMO接口，在不引起EMO跳闸时允许模块从集工具分离。通过关闭专用断路器电力从模块内移除（见相关信息R1-4）。如果专用电路断路器被接通，在旁路跳线插头串联连接EMO 电路的触点是打开的。
6.2.2在EMO电路中使用接线铜导线应为0.82平方毫米截面（＃18 AWG）或更大。
6.2.3标记-- 如下图例标签须贴于电源分配箱各模块电路短路器附近。注意：给装有相关EMO旁路跳线插头的电路上电将中断整个集工具的电源。
6.3连接EMO接口模块电源厂家排名
6.3.1 EMO连接器- EMO接口连接器仅用于预留EMO功能。每个MIL-C-26500E标准规定金属壳卡口式连接器如下：
MS24265R16B10SN用于面板上，MS24266R16B10PN用于电缆及EMO旁路跳线插头。EMO 接口的插座采用面板式安装，插头配在模块EMO电缆上。
6.3.2模块EMO连接器引脚- EMO电缆插头引脚1和2的两端连接模块EMO的开关触点。在插座中，引脚1和2连接到EMO电路，引脚3和4跨接第6.2.1节规定的接点。
6.3.3 EMO旁路跳线插头- 引脚1短接引脚4和引脚2短接插头针脚3。当插件安装时，在6.2.1节中指定的触点将引入EMO电路中。
注意：用户需要注意的是，符合本标准可能需要使用受专利权保护的发明。通过出版本标准，半导体设备和材料协会（SEMI）不持任何立场，尊重任何专利权的有效性与任何声明附带项目中提到的这个标准。特别是，本说明书中的用户应意识到Drytek公司。通用信号的规格。Jonspin路16号，Wilmington.MA 01887 - 1087.Phone：（508）657-3933，既没有宣称也不否认，遵守本规范将需要使用受它的一个或多个专利的发明。
本标准的使用者已被明确告知该决定任何此类专利权利，这些权利的侵权风险，完全是他们自己的责任。
注意：对于本标准所阐述的任何特定的应用的适用性，SEMI不作任何保证或陈述，决定标准的适用性完全是用户的责任。用户应注意参阅制造商的说明，产品标签，产品数据表和其他相关文献，尊重本文中提到的任何材料或设备。这些标准如有变更，恕不另行通知。
本标准出版时，半导体设备和材料国际（SEMI）不持任何立场，尊重任何专利权或版权的有效性声明与
本标准中提到的任何相关项目。本标准的使用者被明确告知，确定任何这样的专利权或版权，侵犯这些权利的风险完全是他们自己的责任。
相关信息1
注意：包含在这些应用笔记中的材料不是SEMI E20的正式组成部分，也不意味着修改或以任何方式取代它。相反，这些笔记主要是作为一个辅助标准应用的信息源。因此，它们将被仅仅作为参考材料。标准应作为所有情况下的参考。
R1-1交流配电
R1-1.1提供电力和EMO功能的集工具的一个方法示于图R1-1（见第6.1.2节）。备用电源（SPS）或不间断电源电源（UPS）用来维护EMO，并在主电源故障时选定集工具功能。如果在图R1-1第一级处，需要断开独立模块，那么在主电源箱内，可能需要包括附加的断路器。使用模块断路器可断开图R1-1第2级;SEMI E7，“电气接口规范”应用于负载达到10千瓦。可以提供额外的主电源机箱以供大交流负载模块使用，前提是每个主接触器由一个共同的EMO电路操作，然而，一些用户的安全码可能要求单一电源。
R1-2操作远程设备
R1-2.1激活EMO设备将停止，通过故障安全意味着在工具中，传递潜在危险的能量（如高电压，激光）或有害物质（如有毒工艺气体，冷却液）到集工具（参见第6.1.3节）。
R1-3 EMO开关布置
R1-3.1每个模块上的EMO开关（参见第6.2.1节）需要布置在集工具附近的任何人可接触到它们的位置。就地安全代码可能会优先于EMO开关布置的情况。该标准可确保每个模块在它的操作中至少有一个EMO开关，当模块是附加的，就应从整个集工具中移除电源。
R1-4 EMO旁路
R1-4.1实现- 功能。在4.2.1节规定，允许旁路EMO 并确保模块电源已关闭时，EMO从集工具除去EMO电路，可以如图R1-2.A继电器或开关来实现。在操作在6.1.2节指定专用断路器平行模块。当断路器处于断电，提供24 VAC至双极继电器的线圈。在与线圈并联一个指示灯亮起时，旁路启用且电源模块关闭。该继电器的一组触点是用来启用瞬时EMO旁
路开关。另一组是短接在EMO接口上的EMO插座的引脚3和4，并在当EMO旁路跳线插头安装时的EMO电路，。两组触点被连接到开路，当继电器线圈不得电时，即，当断路器关闭时。
R1-4.2模块断开–断开模块前必须先关闭专用断路器（参见第6.2.1节）。在此情况下，使串联的EMO旁路开关触点得以闭合，使其具有可操作性。此刻，该模块上的EMO开关仍处于集工具EMO电路中。要断开连接，操作员需要从EMO接口卸下模块EMO插头的同时，将EMO旁路开关连接到EMO旁路跳线插头。此时，瞬时旁路开关被释放。
R1-4.3模块连接- 要连接模块，必须确保给此模块供电的专用断路器（参见第6.2.1节）处于关闭状态。此时电源线可连接到该模块。操作员应从EMO接口断开EMO旁路跳线插头的同时将瞬时旁路开关链接到模块EMO插头。此时瞬时旁路开关被释放。除非EMO已连接，否则不可以给模块供电（如在图R1-2中所示）。
R1-5附加文件和参考资料
执行此标准时，可参考其它标准，包括：
R1-5.1 SEMI文件
SEMI S2 - 半导体制造设备安全指南
R1-5.2其他文件
国际电工委员会（IEC）标准204，第1,2和3。
（美国）美国国家电气规范（NEC）。

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