专利名称：Seal purge method of thermal reactor
ac reactor发明人：テオドルス ヘー．エム．オースターラーケン,フランク フーセン,ヘルベルト テルホルスト,ジャッ
ク ハー．ファン プッテン
申请号：JP2005012809
申请日：20050120
公开号：JP4764016B2
公开日：
20110831
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：Array
申请人：エーエスエム インターナショナル エヌ．ヴェー．
地址：オランダ国 １３２２ エーピー アルメール ヴェルステルケルシュトラート ８国籍：NL
代理人：八木澤 史彦，鈴木 正夫
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