超高纯工艺（FC-03）
●本规范是FITOK公司为超高纯产品生产而制定的工艺；
●本规范对原材料、机械加工、电解抛光、清洗、焊接、装配测试和包装均做严格规定。
工艺设计
本工艺仅适用于不锈钢产品；
选用高纯净不锈钢材料加工制造，对介质接触的润湿内表面进行电解抛光处理；
在洁净环境中进行超高纯清洗、焊接、装配、测试、包装，确保产品不被污染；
产品使用聚乙烯包装袋双层包装，外层包装袋贴有工艺标识。
原材料
AISI 316L（UNS S31603）不锈钢作为高纯（HP）及超高纯（UHP）产品的常用材料，具有优良的耐腐蚀性及抗氧化性；
不锈钢材料通过氢氧脱碳（AOD）或真空脱碳（VOD）精炼，可将C、Mn、Si、P、S等有害化学元素控制到低水平。又经过真空电弧再溶解（VAR）处理，使得材料纯度更高，其特性更为优异。这种材料也被称为316L VAR。而采用VOD材料，先用真空感应熔炼（VIM），然后再经过真空电弧再溶解（VAR）处理，通过这种特殊精炼方式使得材料的C、Mn、Si、P、S降到最低的材料被称为316L VIM-VAR；
FITOK公司超高纯产品使用的不锈钢材料成份部分元素见表1：
表1
不锈钢材料符合以下标准：
✧ASTM A479，锅炉及其它压力容器用不锈钢棒材和型材的规格
✧ASTM A484，不锈钢棒材、坯锭和锻件的通用要求规格
✧ASTM A276，不锈钢棒材和型材规格
✧SEMI F20，316L不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材元件用于一般用途、高纯和超高纯度半导体
制造应用的规范
材料控制标准：
✧材料晶间腐蚀测试应遵照：ASTM A262，奥氏体不锈钢晶间腐蚀敏感度的检测规程；
✧化学成份分析应遵照：ASTM A751，钢制品化学分析的试验方法、规程和术语；
✧材料内部缺陷超声检测应遵照：ASTM E214，通过使用脉冲纵波的反射法的浸入式超声波测试规程；
✧材料夹杂物分析应遵照：ASTM E45，测定钢材夹杂物含量的试验方法，基于评级图Ⅲ评定等级。
机械加工
在加工过程中，尺寸及表面质量严格控制，每个零件的加工面光洁，倒角光滑，流道平顺，焊接端口规则，最大程度减少缺陷和产生颗粒的可能性；
表面粗糙度符合以下标准：
✧SEMI F19，润湿表面不锈钢零件的表面状况的规范
✧SEMI F37，用于气体分配系统元件确定表面粗糙度参数的方法
FITOK公司超高纯产品流道粗糙度可达Ra 5 μin. (0.13 μm)以下。
电解抛光
FITOK公司超高纯产品内表面利用电解抛光处理，以提高产品流道的平滑性，并在金属表面形成富铬层以提高耐腐蚀性，电解抛光后的产品做钝化处理以去除游离铁离子；
电解抛光及钝化的标准：
✧ASTM E1558，金相试样电解抛光指南”
✧ASTM A380，不锈钢零件、设备及系统的清洁、除锈和钝化规程
FITOK公司超高纯产品电解抛光后可达到如下指标，见表2：
清洗及干燥
产品在按照本工艺清洗前，必须先符合FITOK《特殊清洁和包装工艺（FC-02）》的要求；
符合上述要求的产品先在洁净室使用DI水超声波震洗；
清洗完成后，在洁净室内，采用密闭式烘箱干燥；
DI水的技术指标符合如下标准：
✧SEMI E49.6，用于不锈钢系统的子系统组装和测试流程的指南
焊接、装配和测试
为防止清洗后的产品被空气中的粉尘颗粒等污染，应将清洗好的产品在洁净室内完成焊接、装配和测试；
洁净室符合ISO 14644-1规定的5级要求，等同于联邦标准209E 100级。
包装和标识
产品在储存及运输过程中，为防止碰伤及污染，应按如下要求执行：
✧产品的功能端口，比如阳螺纹或密封面，应使用洁净保护膜并戴上保护帽；
✧成品双层袋装防护，内层采用聚乙烯材质的无尘塑料袋真空密封，外层采用聚乙烯塑料袋充洁净干燥的氮
气后密封；
✧袋装后的成品，采用盒装防护；
✧成品包装标识及追溯信息，在不拆包装的状态下清晰可辨。
产品包装符合如下标准：
✧SEMI E49.6，用于不锈钢系统的子系统组装和测试流程的指南
参考文献
ASTM
ASTM A262，奥氏体不锈钢晶间腐蚀敏感度的检测规程
ASTM A276，不锈钢棒材和型材规格
ASTM A380，不锈钢零件、设备及系统的清洁、除锈和钝化规程
ASTM A479，锅炉及其它压力容器用不锈钢棒材和型材的规格
ASTM A484，不锈钢棒材、坯锭和锻件的通用要求规格
ASTM A751，钢制品化学分析的试验方法、规程和术语
ASTM E45，测定钢材夹杂物含量的试验方法
ASTM E214，通过使用脉冲纵波的反射法的浸入式超声波测试规程
ASTM E1558，金相试样电解抛光指南
ASTM F1397，用于决定气体分配系统元件水分程度的标准测试方法
vim最全使用指南SEMI
SEMI F19，润湿表面不锈钢零件的表面状况的规范
SEMI F20，316L不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管部件用于一般用途、高纯和超高纯度半导体制造应用的规范
SEMI F37，用于气体分配系统元件确定表面粗糙度参数的方法
SEMI E49.6，用于不锈钢系统的子系统组装和测试流程的指南
SEMI F60，用于钝化316L不锈钢元件润湿表面成份的ESCA评估的测试方法
SEMI F72，用于钝化316L不锈钢元件润湿表面氧化层的俄歇发射光谱学（AES）的测试方法
SEMI F73，用于不锈钢元件润湿表面状态的扫描电子显微镜（SEM ）评估的测试方法
ISO
ISO 14644-1，洁净室和相关控制环境

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