第３３卷㊀第２期２０１８年２月㊀㊀㊀㊀㊀㊀㊀液晶与显示㊀㊀㊀C h i n e s e J o u r n a l o fL i q u i dC r y s t a l s a n dD i s p l a y s ㊀㊀㊀㊀㊀V o l ．３３㊀N o ．２
㊀F e b ．２０１８㊀㊀收稿日期:２０１７Ｇ０７Ｇ１５；修订日期:２０１７Ｇ１１Ｇ０３．㊀㊀基金项目：京东方T F T 特性研发基金
S u p p o r t e db y T F TC h a r a c t e r i s t i cR e s e a r c hF u n do fB O E ㊀㊀∗通信联系人,E Ｇm a i l :j i x i n y o u ＠b o e ．c o m．c n 文章编号:１００７Ｇ２７８０(２０１８)０２Ｇ０１３８Ｇ０６
刻蚀液的调整对A r r a y M
u r a 影响的研究冀新友∗，张家祥，王㊀亮，张㊀洁，卢㊀凯，黄东升，陈㊀思，王㊀威
(北京京东方光电科技有限公司，北京１００１７６)
摘要：生产中经常出现常温污渍(A r r a y M u r a )不良.针对T F T 面板布线细线化及低电阻电极的要求，纯铝工艺迫切需要新型湿法刻蚀液的对应.目前，本文通过对比３种产线中测试的刻蚀液，得出A r r a y M u r a 的产生主要与纯铝工艺的顶层金属钼的刻蚀后缩进有关，其中测试的刻蚀液C 可以有效控制金属钼的缩进至０．１μm 以内.控制顶层金属钼缩进
的主要原因与刻蚀液C 的硝酸浓度和添加剂含量有关，通过控制药液进而控制了刻蚀过程内的电化学反应，最终使得
A r r a y M u r a 得到了有效的改善，后续无相关不良发生.采用刻蚀液C 刻蚀后线宽㊁坡度角等相关刻蚀参数均满足要求，目前已经导入量产使用.
关㊀键㊀词：常温污渍；钼缩进；刻蚀液中图分类号:T N １４１．９㊀㊀文献标识码:A㊀㊀d o i :１０．３７８８/Y J Y X S ２０１８３３０２．０１３８
E f f e c t s o f a r r a y M u r ab y a d j
u s t m e n t o f e t c h a n t J IX i n Ｇy o u ∗,Z H A N GJ i a Ｇx i a n g ,WA N GL i a n g ,Z H A N GJ i e ,L U K a i ,HU A N G D o n g Ｇs h e n g
,C H E NS i ,WA N G W e i (B e i j i n g B O EO p t o e l e c t r o n i c sT e c h n o l o g y C o ．,L t d ．,B e i j i n g １
００１７６,C h i n a )A b s t r a c t :S t a i n i n r o o mt e m p e r a t u r e (A r r a y M u r a )c a nb e f o u n d i n p r o d u c t i o n ．A i m i n g a t t h e r e q u i r e Ｇm e n t so f h i g h p r e c i s e a n d l o wr e s i s t a n c e c i r c u i t ,a n e wt y p e o fw e t e t c h i n g e t c h a n t i s n e c e s s a r y
f o r t h e m a n u f a c t u r i n
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h n o l o g y ．B y c o m p a r
i n g t
h r e ek i n d so f e t c h a n t ,w em a d eac o n c l u s i o n t h a t t h e s h r i n k a g e o fT o p M oh a s p l a y e da s i g n i f i c a n t r o l e i n t h e p r o d u c i n g o fA r r a y M
u r a ．T h e c o n Ｇc e n t r a t i o no fn i t r i ca c i da n do t h e ra d d i t i v ec a nc o n t r o l t h e p r o c e s so f e l e c t r o c h e m i c a l r e a c t i o nw h i c h c a nd r i v e a no b v i o u s i m p r o v e m e n t i nA r r a y M u r ab y c o n t r o l l i n g t h e s h r i n k a g eo fT o p M ow i t h i n０．１μm．T h ew e t e t c h i n g e t c h a n tCh a v ea l r e a d y f i t t e da l l t h ee t c h i n gp a r a m e t e r s i n c l u d i n g C Db i a sa n d p r o f i l e ,a n d i t a l s ob e i m p o r t e d i n t o q u a n t i t yp r o d u c t i o n ．K e y w o r d s :r o o mt e m p e r a t u r e s t a i n ;M o s h r i n k ;e t c h a n t
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