pvd真空镀膜的基本过程和原理
PVD(Physical Vapor Deposition)真空镀膜是一种广泛应用于表面改性和涂层制备的技术。它的基本过程包括:蒸发、传输、凝结和沉积。
1. 蒸发:通过热源加热,将固态材料(通常为金属)转变为蒸汽。这可以通过电阻加热、电子束蒸发或弧光蒸发等方式实现。
2. 传输:蒸汽经过真空环境中的传输装置,将蒸汽输送到待镀物体的位置。传输装置可以是磁控溅射、跳线或电子束扫描等。
deposition3. 凝结:蒸汽在传输过程中会遇到冷凝体,使其凝结成液体或固体。这可以通过冷凝器、冷却板等装置实现。
4. 沉积:凝结的液体或固体沉积在待镀物体表面,形成薄膜。这可以通过靶材或者源材料布置在待镀物上方,经过特定的装置使薄膜在待镀物体上均匀沉积。
PVD真空镀膜的原理是通过控制材料的蒸发、传输和凝结过程,将固态材料转化为气态蒸
汽并沉积在待镀物表面,形成均匀的薄膜。真空环境可以避免与空气中的杂质发生反应,提高薄膜质量。此外,由于采用物理手段制备薄膜,所以通常具有较高的附着力和耐磨性。PVD真空镀膜广泛应用于金属薄膜、陶瓷薄膜和多层膜等领域,用于改善材料的光学、电学、机械和化学性能等。
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