专利名称：METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRON BEAM ALIGNMENT WITH A
SEMICONDUCTOR MEMBER
发明人：TERENSU UIRIAMU OKIIFU,ARAN JOZEFU SAIMON
申请号：JP6927874
申请日：19740619
公开号：JPS583372B2
公开日：
19830121
专利内容由知识产权出版社提供
申请人：WESTINGHOUSE ELECTRIC CO
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