专利名称：一种微机电系统红外探测器及其制作方法专利类型：发明专利
发明人：赵继聪，葛明敏，孙海燕，孙玲，方家恩
申请号：CN201811422318.3
申请日：20181127
公开号：CN109399552A
公开日：
20190301
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种微机电系统红外探测器，包括配置至少二垂直导电区的衬底，相对固定于衬底、配置至少二电极的热敏感器件，及数量与电极的数量相同，电连接电极与垂直导电区的导电引线；其中，衬底配置热绝缘层，热绝缘层位于热敏感器件于衬底的投影面处。本发明提供MEMS红外探测器的结构，热敏感器件用于接收红外辐射信号，输出电学感应信号，将热敏感器件上面朝向待探测区域，并于热敏感器件的下部的热绝缘层，并于下热敏感器件的下部设置引线结构，提高测量的精准度。基于此，本发明还提供了一种微机电系统红外探测器的制作方法。
申请人：南通大学，成都锐杰微科技有限公司
地址：226000 江苏省南通市崇川区啬园路9号
国籍：CN
代理机构：江苏隆亿德律师事务所
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