◎ A开头的单字 ◎
1. Abort 取消操作
2. Abnormal 异常
3. Acetic Acid(CH3COOH) 醋酸
4. Acetone(CH3COCH3) 丙酮
5. Acid 酸
6. Add 增加
tilt7. Adjust 调整
8. Air Shower 洁净走道
9. Alignment 对准
10. Alloy 合金
11. Aluminum(Al) 铝
12. Ammonia(NH4OH) 氢氧化胺(俗称:氨水)
13. Analysis 分析 m~H
14. AR 氩气
15. Automation 自动化
◎ B开头的单字 ◎
1. Bake 烘烤
2. Bank 暂存
3. Barcode 条形码
4. Batch 整批
5. BHLD 被工程师或客户Bank Hold短时间内不会Run的货
6. Blue Tape 蓝膜
7. Boat 石英晶舟
8. Bottom 底部
9. Breakdown Voltage 击穿电压
10. Broken 破片;损坏
11. Buffer 生产暂存区
12. Buffer Chemical 缓冲液
◎ C开头的单字 ◎
1. Calibration 校正;调整
2. Camera 照相机;摄影机
3. Cancel 清除
4. Candela(cd) 烛光
5. Cart 手推车
6. Cassette 晶舟
7. Certify 技能认证
8. Chamber 反应室
9. Charge 电荷
10. Chipping 崩裂
11. Chip Suction Pen 真空吸笔
12. Chip Transfer - m(Machine) 翻转机
13. Clean Bench 清洗台
14. Clean Room 洁净室
15. Cleaning 清洗 IF
16. Cleaning Sequence 清洗程序
17. Clear 清除
18. Coat 涂布
19. Coater 上光阻机台
20. Coating 上光阻;涂布上整个表面
21. Completed 结束;完成
22. Confirm 确认
23. Contact 接触
24. Contamination 污染
25. Control Wafer(C/W) 控片
26. Controller 控制器
27. Cooling Water 冷却水
28. Crucible,Pot 坩埚
29. Curing 烘烤
30. Customer 客户
31. CVD(Chemical Vapor Deposition) 化学汽相沉积
32. Cycle Time 生产周期
◎ D开头的单字 ◎
1. Daily Monitor 每日检测
2. Data 资料;数据
3. Date 日期
4. Defect 缺点;缺陷
5. Defocus 散焦;无法聚焦
6. Del(Delete) 清除;删除
7. Delay 延迟
8. Department 部门
9. Deposition(DEP) 沉积
10. Develop 显影
11. Developer 显影器;显影液
12. Die,Chip 晶粒(台);芯片(陆)
13. DI Water 去离子水
14. Dicing 切割
15. Down 当机
16. Drain 泄出
17. Dry Etching 干蚀刻
18. Dry Pump 干式(无油封)的真空泵
19. Dummy Wafer(D/W) 挡片
◎ E开头的单字 ◎
1. E/R(Etching Rate) 蚀刻率
2. Emergency Stop 紧急停止
3. EMO 紧急停止按钮
4. Endpoint 终点值
5. Engineer 工程师
6. Epi –wafer 磊晶片(台);外延片(陆)
7. Equipment 机台;设备
8. Error Message 错误讯息
9. Etching 蚀刻
10. Evaporation 蒸镀
11. Exhaust 抽出;抽风管;排(废)气
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