专利名称：Oxide-capped titanium silicide formation 发明人：Thomas E. Tang,Che-Chia Wei,Roger A.
Haken,Thomas C. Holloway,David A. Bell 申请号：US06/876947
申请日：19860620
公开号：US04690730A
公开日：
19870901
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：A cap oxide (or oxide/nitride) prevents silicon outdiffusion during the reaction step which forms direct-react titanium silicide.
申请人：TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
代理人：Douglas A. Sorensen,Leo N. Heiting,Melvin Sharp
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