晶圆
Taiko减薄晶圆的去环方法[发明专利]
(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011282723.7(22)申请日 2020.11.17(71)申请人 华虹半导体(无锡)有限 214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号(72)发明人 肖酉 苏亚青 谭秀文 (74)专利代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211代理人 罗雅文(51)Int.C...
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晶圆常识基本概况 晶圆是指硅半导体集成电路制作所⽤的硅晶⽚,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶⽚上可加⼯制作成各种电路元件结构,⽽成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅,⽽地壳表⾯有⽤之不竭的⼆氧化硅。⼆氧化硅矿⽯经由电弧炉提炼,盐酸氯化,并经蒸馏后,制成了⾼纯度的多晶硅,其纯度⾼达99.999999999%。晶圆制造⼚再把此多晶硅融解,再于融液⾥种⼊籽晶,然后将其慢慢拉出...