显影
TFT工艺流程中中英文标准名称
第1页共22页一．TFT 工艺流程中英文标准名称Array Process Flow阵列段工艺流程Unpacking 拆包装Initial clean 预备清洗Input 投料Particle count 尘埃粒子测试Clean before depo成膜前清洗Gate （Mo/Al alloy ) Film depo 栅电极成膜RS meter 电阻测量Macro Inspection 宏观检查...
半导体专业用语
金属前介质层（PMD） 金属间介质层（IMD）W塞 （W PLUG）钝化层（Passivation） Cassette 装晶片的晶舟 CD：critical dimension 关键性尺寸，临界尺寸 Chamber 反应室 Chart 图表 Child lot 子批 chiller 制冷机 Chip (die) 晶粒 Chip：碎片或芯片。 clamp 夹子 CMP 化学机械研磨...
