文章编号:　167329965(2008)022103204L S2MOCVD的真空度测量及自动控制3高爱华，刘卫国，周顺，张伟(西安工业大学光电工程学院，西安710032)摘　要:　对液态源金属有机物化学气相沉积(Liquid SourceΟMetal Organic Chemical Vapor Depo sition,L SΟMOCVD)设备.文中主要研究了L SΟMOCVD的反应室真空获取...

真空度概念真空度是指物质空间中的真正空气压力，把环境压力视为常规的“标准大气压”，只有当空气压力低于该值时，才能能称为真空。真空是指由于真空度太低而达到不可混合，成为介质的一种特殊气体混合物状态。真空度是描述真空状态的基本概念，它意味着空气压力降低到一定水平以下时就可以将物质空间设置成真空状态。真空度可以用多种单位度量，例如帕斯卡(Pa)、毫巴(mbar)、巴(bar)等。真空度的计算公式为：P/...

45度45度QA安装一个loggerWI安装WI安装并检查真空度/检查QA验证以后才可以对叶片进行发货/配重型主支架33mmangular安装14－33mm 长度超过1mnot reached before laying the inner root laminate12a－12e层and may not be copied without permission the board ofWI安装W...

pvd load lock结构depositionPVD (Physical Vapor Deposition) load lock结构是一种用于PVD蒸发设备的加载、卸载样品的结构。load lock是指一种密封的腔室，用于在真空环境下将样品从外部环境加载进入蒸发腔室，或将蒸发完成的样品从蒸发腔室卸载到外部环境。PVD蒸发设备通常需要在真空环境下进行工作，以防止样品与大气中的氧气、水分等发生反应...